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(1)若扫描电压为零,电子束在束偏移器中做何种运动?电子束到达芯片时的落点位置?(2)若扫描电压为零,且It=Ne(N为电子个数),求O点每秒接收的能量E?(e=1.6×10^-19C)(3)若某时刻扫描电压为15kV,则电子束到达芯片时的位置离O点的距离为多少?电子枪成型孔2×01×1×1.6×10束偏移器晶圆
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